자외선의 파장 영역. 10 nm에서 400 nm 사이

[참고] 전자기 복사선의 종류. 전자기 복사선 영역

전자기 스펙트럼에서

자외선(UV, Ultraviolet)의 파장 범위는

대략 10 nm에서 400 nm 사이이며,

( 10 ~ 400 nm )

세부적으로 다음과 같이 분류할 수 있습니다.

① 진공자외선(Vacuum UV, VUV): 10 ~ 200 nm

② 극자외선(Extreme UV, EUV): 10 ~ 121 nm

③ UVC: 100 ~ 280 nm

④ UVB: 280 ~ 315 nm

⑤ UVA: 315 ~ 400 nm

일반적으로 ‘자외선’이라 할 때는

100 nm 이상 400 nm 미만을 가리키지만,

( 100 ~ 400 nm )

세부적으로는 위와 같이 구분하여 사용합니다.

반도체 EUV 공정이란? 차세대 칩의 핵심기술

Ultraviolet

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전자기파의 파장 영역. 가시광선, 자외선, 적외선

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